Electron beam litography and reactive ion etching for niobium nanobridges fabrication

Number of the records: 1

Title	Electron beam litography and reactive ion etching for niobium nanobridges fabrication
Author	Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID ^ORCID
Co-authors	Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID ^ORCID
	Rangelow I.W.
	Borkowicz Z.
	Beňačka Štefan 1933 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Stangl Guenther

Source document	/ Beňačka Štefan 1933 ; Seidel P. ; Štrbík Vladimír 1954 . P. 121-127 Weak Superconductivity : proceedings of the Seventh International Symposium. - Bratislava : IEE SAS, 1994
Language	eng - English
Country	CS - Czechoslovakia
Document kind	rozpis článkov z periodík (rzb)
Keywords	litografia * elektrotechnika slaboprúdová
Category	AEC - Scientific papers in foreign peer-reviewed proceedings, monographs
Category of document (from 2022)	V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
Type of document	príspevok
Year	1994

article

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
1994

Number of the records: 1