Nielen vďaka rozvoju nanotechnológie, kedy je potrebné merať naozaj malé polovodičové súčiastky, má spoločnosť Micro-Epsilon vo svojom portfóliu optické interferometrické meracie systémy. Interferometer dosahuje sub-nanometrické rozlíšenie pri zachovaní relatívne veľkého meracieho rozsahu a offsetu, ktorý umožňuje väčšiu vzdialenosť od meraného cieľa.