Počet záznamov: 1
Měření v SUB - nanometrech
SYS 0117371 LBL 00000naa^^22^^^^^^^^450 005 20221205104416.6 100 $a 20221205a m y0sloy0103 ba 101 0-
$a cze 102 $a CZ 200 1-
$a Měření v SUB - nanometrech 215 $c Obr. 330 $a Nielen vďaka rozvoju nanotechnológie, kedy je potrebné merať naozaj malé polovodičové súčiastky, má spoločnosť Micro-Epsilon vo svojom portfóliu optické interferometrické meracie systémy. Interferometer dosahuje sub-nanometrické rozlíšenie pri zachovaní relatívne veľkého meracieho rozsahu a offsetu, ktorý umožňuje väčšiu vzdialenosť od meraného cieľa. 463 -1
$1 001 sldk_un_cat*0116487 $1 011 $a 1212-2572 $1 200 1 $a MM Průmyslové spektrum $v Č. 9 (2022), s. 40 $1 210 $c Industria Press $c MM publishing $a Praha $d 2022 610 1-
$9 sldk_un_auth*h042235 $a nanotechnológie $X nanotechnologies 610 1-
$9 sldk_un_auth*h000038 $a meranie $X measurement 610 1-
$9 sldk_un_auth*0061409 $a nanometre 610 1-
$9 sldk_un_auth*h013715 $a interferometria $X interferometry 675 $a 62-022.532 $v 2.stred 675 $a 535.41 $v 2.stred $z slo 675 $a 681.782.44 $v 2.stred $z slo 801 -0
$a SK $b ZV001 $c 20221205 $g AACR2
Počet záznamov: 1